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        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

        更新時(shí)間:2025-07-23      點(diǎn)擊次數(shù):30

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者"

        ——從零部件到整機(jī),國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的崛起之路

        一、半導(dǎo)體設(shè)備:芯片制造的基石",國(guó)產(chǎn)化率不足20%

        半導(dǎo)體設(shè)備是芯片制造的“母機(jī)",直接決定芯片性能與產(chǎn)能。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1076億美元,中國(guó)大陸以283億美元成為頭部市場(chǎng),但國(guó)產(chǎn)化率僅約15%-20%。

        核心設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率分布

        光刻機(jī):<1%

        量測(cè)設(shè)備:<5%

        離子注入設(shè)備:<10%

        薄膜沉積設(shè)備:<20%

        刻蝕設(shè)備:>30%

        清洗設(shè)備:>30%

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        二、零部件:半導(dǎo)體設(shè)備的卡脖子"環(huán)節(jié)

        半導(dǎo)體設(shè)備中90%成本來自零部件,但頭部零部件國(guó)產(chǎn)化率普遍低于10%

        真空閥門

        日本SMC、瑞士VAT壟斷,國(guó)產(chǎn)化率<1%

        射頻電源

        美國(guó)MKS、AE壟斷全球87%份額

        靜電吸盤

        日本京瓷、美國(guó)AMAT壟斷,國(guó)產(chǎn)化率<1%

        國(guó)產(chǎn)突破:

        江豐電子

        靶材國(guó)產(chǎn)化率超50%,打入臺(tái)積電5nm供應(yīng)鏈

        英杰電氣

        射頻電源獲中微公司認(rèn)證,2023年訂單超9000萬(wàn)元

        新萊應(yīng)材

        高純氣體管路系統(tǒng)進(jìn)入長(zhǎng)江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        三、薄膜沉積設(shè)備:CVD/PVD國(guó)產(chǎn)化加速

        薄膜沉積設(shè)備占晶圓廠設(shè)備投資的25%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模172億美元:

        技術(shù)路線

        PECVD(等離子體增強(qiáng)):占比34%

        ALD(原子層沉積):先進(jìn)制程核心

        國(guó)產(chǎn)進(jìn)展拓荊科技

        PECVD設(shè)備打入中芯國(guó)際14nm產(chǎn)線,2022年?duì)I收17億元

        北方華創(chuàng)

        PVD設(shè)備在長(zhǎng)江存儲(chǔ)份額超20%

        中微公司

        MOCVD設(shè)備全球市占率超60%

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        四、量檢測(cè)設(shè)備:芯片良率的守護(hù)者"

        量檢測(cè)設(shè)備占設(shè)備投資的11%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模104億美元:

        /暗場(chǎng)檢測(cè)

        明場(chǎng)檢測(cè):用于圖形晶圓,精度要求高

        暗場(chǎng)檢測(cè):用于無圖形晶圓,速度快

        國(guó)產(chǎn)突破中科飛測(cè)

        無圖形檢測(cè)設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率超70%

        上海精測(cè)

        明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備獲長(zhǎng)江存儲(chǔ)訂單

        睿勵(lì)儀器

        膜厚量測(cè)設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際產(chǎn)線

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        五、CMP設(shè)備:晶圓平坦化的精密磨床"

        CMP設(shè)備占設(shè)備投資的4%,2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

        技術(shù)壁壘

        納米級(jí)平整度控制(相當(dāng)于天安門廣場(chǎng)起伏<0.03mm

        國(guó)產(chǎn)突破華海清科

        12英寸CMP設(shè)備市占率25%,2022年?duì)I收16億元

        爍科中科信

        8英寸CMP設(shè)備進(jìn)入華虹供應(yīng)鏈

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        六、離子注入機(jī):芯片摻雜的精準(zhǔn)注射器"

        離子注入機(jī)占設(shè)備投資的3%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

        技術(shù)分類

        中低束流:占比60%

        高能離子:占比18%

        國(guó)產(chǎn)突破萬(wàn)業(yè)企業(yè)(凱世通)

        低能大束流設(shè)備獲長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)訂單

        中科信

        中束流設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際產(chǎn)線

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        七、國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商:從“01"的突圍者

        1. 平臺(tái)型龍頭

        北方華創(chuàng)

        覆蓋刻蝕、PVD、CVD7大類設(shè)備,2022年半導(dǎo)體設(shè)備收入130億元

        中微公司

        CCP刻蝕設(shè)備打入臺(tái)積電5nm產(chǎn)線

        2. 細(xì)分賽道

        拓荊科技

        PECVD設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率32%

        華海清科

        CMP設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率25%

        盛美上海

        清洗設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率23%

        半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者

        八、未來展望:國(guó)產(chǎn)化的三大突破口

        成熟制程

        55-28nm產(chǎn)線國(guó)產(chǎn)設(shè)備覆蓋率已達(dá)50%

        先進(jìn)封裝

        華為芯片堆疊"推動(dòng)封裝設(shè)備需求

        零部件配套

        射頻電源、真空閥門等加速替代

        半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化不是選擇題,而是生存題。"

        ——中微公司董事長(zhǎng)尹志堯


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